作者简介

潘桂忠：1959年毕业于南京大学物理学系半导体物理专业，高级工程师，研究生导师，贝岭微电子公司原技术工程部经理。从事 LSI/VLSI设计、工艺技术、芯片结构、电路研制及IC生产长达50余年。

先后负责启动并运转三家单位（航天部771所、香港华科、上海贝岭）引进的LSI生产线，实现了大批量生产；开发并提高了各种工艺技术；研制并生产了各种 LSI/VLSI。其中，上海贝岭LSI大批量生产获得成功并取得了很好的经济效益，邓小平等领导人曾来公司参观；航天部专用“MOS IC的设计和制造”获航天部三等功；“S1240电话交换机专用 LSI制造、生产和国产化（国家引进重点项目）”分别获上海市优秀新产品成果一等奖、科学技术进步奖和国家科技进步三等奖。曾参与《超纯硅的制备和分析》与《世界IC发展趋势》的编译、《实用IC工艺手册》的编著；发表论文50余篇，并编著《MOS集成电路结构与制造技术》和《MOS集成电路工艺与制造技术》。