“集成电路系列丛书·集成电路制造”编委会

主　　编：赵海军

副 主 编：吴汉明　季明华　罗正忠

责任编委：卜伟海

编　　委：陈南翔　陈向东　龚　正　霍宗亮

　　　　　刘英坤　邵　华　王文武　王跃林

　　　　　许　军　俞少峰