这位宋院士是北大光学工程学院的教授，博士生导师，主要研究领域是纳米光栅。当年戚院士带队，一帮院士大佬承接了EUV光刻机的研发任务，其中就包括这位宋院士。后来EUV光刻机研发成功，第一台样机送去瑞芯晶圆...