序言

张汝京先生，于美国南方卫理公会大学（Southern Methodist University）取得电子工程博士学位。他曾在德州仪器公司工作过20年，并管理过美国、日本、新加坡、意大利及中国台湾地区等多座半导体工厂的相关业务，在半导体技术以及信息产业的发展规划上，张汝京先生卓越的成就和独到的眼光得到业界公认。

更重要的，张汝京先生作为半导体技术方面的创始人，2000年4月，他创办了中国当时最先进的集成电路制造厂——中芯国际集成电路制造有限公司，将国内的半导体加工水平提升到了国际水平，对国内集成电路产业的跨越式发展起到了不可替代的作用。

2009年12月，一个冬日的下午，我专程去上海拜访张汝京先生。那时，恰逢我刚刚给清华大学信息学院的大一新生讲完“从晶体管的发明到信息时代”的课程。近几年，我深深感觉到信息产业的发展迅速，在消费市场巨大需求的牵引下，半导体技术从科学原理到加工工艺都有着日新月异的进步，十年甚至五年前的技术放到今天就已经极为过时了。怎么才能给学生们讲清基本原理的同时，舍弃过时的技术，代之以业界正在使用的成熟技术，甚至是业界尚在研究开发的次世代技术，是我们当时极为关心的话题。

我想到，张先生是随着半导体产业的发展成长起来的领军人物，见证了几个技术世代的兴起与淘汰。他本人不仅有着深厚的学术根基，有着丰富的产业经验，其带领的团队也掌握了业界当时最为尖端的90纳米半导体加工工艺，并且在研制下一代的65纳米和40纳米工艺节点的制造工艺。如果能邀请张先生和他的团队完成一本面向大学生、研究生的先进半导体工艺教科书，我相信是一个最恰当的选择。这个念头自此成为请张先生写作这本书的起始驱动。

所幸，尽管张先生和他的团队事务繁忙，但基于对行业的赤诚，以及对年轻后辈的关爱，他欣然答应。经过数年的笔耕，这本书终于出现在读者面前。值得一提的是，张先生的团队是多年来在顶级半导体代工厂一线工作的科研人员，他们处理实际问题的经验以及从产业出发的独特技术视角，相信会为本书带来传统半导体工艺教材所没有的特色。

感谢清华大学的杨轶博士、李铁夫博士，没有他们多次往返京沪奔波，随时协助张汝京先生整理文字、核对数据，就不可能完成这本书的创作。感谢牛崇实博士、张启华博士等为本书做出贡献的作者们。

王志华

2014年3月于北京