第3章
扫描电镜的主要探测器及其成像

3.1　二次电子和背散射电子信号的收集与显示

电子信号的收集和显示系统的组件包括信号探测器、前放、功放和显示器，它们的作用是探测试样在入射电子的激发下产生出来的多种电子信号，这些信号被相应的探测器收集后，经多级放大作为显示系统的调制信号，最后在荧屏上呈现出反映该试样表面特征的扫描图像。

二次电子和背散射电子在理论上都可以用闪烁体加光电倍增管所组成的传统E-T SED来进行探测、成像。因该探测器前端的栅网上都有一个-150～+300V（个别电镜为-250V～+400V）的可调电位。若栅网上加正电位，则探测器主要接收二次电子，当栅网上加+300V时，吸引来的二次电子经闪烁体前面的10kV或12kV的高压加速后，入射到闪烁体的荧光层，荧光层受到被加速的二次电子的激发便会产生出光信号，光信号沿着光导管传送到光电倍增管，光电倍增管把光信号又转换成电信号并进行倍增放大，再输入预放大器，再经功率放大后就成为显示屏中的视频图像。若栅网上加的是负电位，如-50V或-100V，则该负电位就会排斥入射的低能二次电子，但排斥不了高能的背散射电子，所以只能接收高能量的背散射电子。这些背散射电子入射到闪烁体上的荧光层，荧光层受激发会产生光信号，这些光信号经转换并由光电倍增管倍增放大，最后同样成为显示屏中的视频图像。这就是用传统的E-T探测器来分别对SE和BSE进行探测、采集成像的大致过程，它们所成的对应图像分别称为二次电子像（SEI）和背散射电子像（BSEI）。