扫描电镜和能谱仪的原理与实用分析技术（第2版）

致谢

参考文献

A.8 能谱仪用的元素周期表

A.7 能谱、波谱分析中常用的部分标准

A.6 由于假峰而可能会引起误判的有关元素谱线表

A.5 入射电子束的加速电压与对应元素的最大激发深度

A.4 可视化重叠峰剥离功能

A.3 与电镜分析有关的部分常用标准

A.2 真空技术主要术语和含义

A.1 压力单位换算表

附录A

参考文献

18.7 能谱仪、波谱仪和EBSD等与扫描电镜的一体化

18.6 平行光波谱仪的特点

18.5 平行光波谱仪

18.4 能谱仪与罗兰圆波谱仪的比较

18.3 波谱仪对试样的探测和输出

18.2 传统的罗兰圆波谱仪的主要特点

18.1 波长衍射

第18章 X射线波长的探测与波谱仪

参考文献

17.9 谱仪的维护与保养小结

17.8 其他功能

17.7 X射线的泄漏量

17.6 液氮消耗量

17.5 谱峰位随计数率和时间的变化而漂移

17.4 峰背比

17.3 能量分辨力

17.2 探测的元素范围

17.1 检出角

第17章 能谱仪的性能指标

参考文献

16.10 减少外来的杂散辐射

16.9 减少高能背散射电子进入探测器

16.8 背底的失真

16.7 减少探测器中晶体的污染

16.6 密封窗的污染和破损

16.5 杜瓦瓶中的冰晶和底部结冰的处理

16.4 独立接地

16.3 振动与噪声干扰

16.2 谱线峰偏离高斯分布

16.1 谱线峰的失真

第16章 谱线峰的失真与外来的干扰

参考文献

15.7 定量分析的实例

15.6 提高定量分析准确度的要点小结

15.5 实际操作中的定量分析

15.4 扣除背底

15.3 定量分析简述

15.2 定性分析结果的主要表示方法

15.1 定性分析简述

第15章 能谱的定性和定量分析简述

参考文献

14.4 探测器与试样的相对几何位置

14.3 镜筒的合轴

14.2 电子源的亮度

14.1 加速电压的选择

第14章 电镜参数的选择

参考文献

13.5 假峰

13.4 重叠峰

13.3 空间几何分辨力

13.2 不同密封窗材料的探测范围

13.1 探测限

第13章 X射线的探测限和假峰

参考文献

12.6 二次（荧光）发射

12.5 X射线的吸收

12.4 莫塞莱定律和X射线定性分析的依据

12.3 连续辐射谱的产生

12.2 荧光产额与荧光激发

12.1 电子能级的跃迁和X射线的产生

第12章 入射电子与物质的相互作用及X射线的产生

参考文献

11.4 X射线的吸收和处理过程

11.3 硅漂移X射线能谱探测器

11.2 锂漂移硅芯片的结构

11.1 锂漂移硅探测器

第11章 能谱仪的工作原理

参考文献

10.4 X射线的度量单位

10.3 X射线的定义及性质

10.2 国内X射线微区分析仪器的研制简况

10.1 国外X射线显微分析仪的发展概况

第10章 X射线显微分析仪的发展概况及其定义和性质

下篇 能谱仪的原理与实用分析技术

参考文献

第9章 展望将来的扫描电镜

参考文献

8.10 其他

8.9 环境噪声

8.8 供水

8.7 供电电源

8.6 防振和防磁

8.5 室内温度、湿度、通风和排气

8.4 照明

8.3 接地

8.2 空间与地面

8.1 安装地点的选择

第8章 电镜的安装环境和对实验室的要求

7.8 与电镜配套的不间断电源

7.7 电镜的控制计算机

7.6 冷却循环水机的维护

7.5 真空系统的维护

7.4 显示器的保养和维护

7.3 闪烁体的保养

7.2 光栏的清洁

7.1 衬管的拆卸与清洁

第7章 电镜的维护与保养

参考文献

6.14 VC与EBIC像在半导体器件失效分析中的应用

6.13 蚊子试样

6.12 微型电机

6.11 电真空器件

6.10 陶瓷电容的容量漂移

6.9 金属膜电阻的失效分析

6.8 印制电路板上出现的黑镍现象和镍层腐蚀

6.7 锡晶须的生长

6.6 继电器触点的表面分析

6.5 金属断口分析

6.4 半导体器件的失效分析

6.3 微观尺寸的测量

6.2 陶瓷电容端头的硫化银

6.1 印制电路板的失效分析和检测

第6章 应用图例

5.7 制作和粘贴试样的主要工具和器材

5.6 制样仪器与工具

5.5 生物试样

5.4 磁性材料

5.3 块状试样

5.2 粉体试样

5.1 超声清洗和镀膜

第5章 试样的制备

参考文献

4.8 提高图像亮度的几种措施

4.7 电镜图像的不正常现象

4.6 屏幕的分割与双放大功能

4.5 图像的调焦、消像散和动态聚焦

4.4 电镜图像中几种常见的像差

4.3 图像的采集

4.2 试样的安装、更换及停机

4.1 电镜的启动

第4章 扫描电镜的实际操作

参考文献

3.26 电子束减速着陆方式

3.25 扫描透射电子探测器

3.24 图像处理功能

3.23 电子束感生电流像

3.22 阴极荧光像

3.21 背散射电子的探测方式和图像

3.20 加速电压效应

3.19 物镜光栏的选择

3.18 焦点深度（景深）

3.17 试样表面的形貌与图像的反差

3.16 二次电子的电压衬度像

3.15 图像的立体效应和入射束与试样表面的角度关系

3.14 扫描电镜图像的几何分辨力与像素

3.13 吸收电子像（AEI）

3.12 试样上电流的进出关系

3.11 图像的信噪比和灰度

3.10 入射的电子束流与束斑直径

3.9 与图像分辨力有关的几个主要因素

3.8 环境扫描和低真空电镜的二次电子探测器

3.7 透镜内二次电子探测器

3.6 YAG材料的二次电子探测器及背散射电子探测器

3.5 光电倍增管

3.4 传统的E-T型二次电子探测器

3.3 二次电子像的性质

3.2 二次电子探测器

3.1 二次电子和背散射电子信号的收集与显示

第3章 扫描电镜的主要探测器及其成像

参考文献

2.11 低真空和环境扫描电镜

2.10 真空压力单位

2.9 样品仓的外形与内部

2.8 扫描偏转线圈

2.7 电磁透镜

2.6 电子枪阴极

2.5 镜筒

2.4 扫描电镜的电子束斑

2.3 扫描电镜的放大倍率

2.2 电子枪的束斑和束流

2.1 扫描电镜的原理

第2章 扫描电镜的原理和结构

参考文献

1.6 电子的基本参数及其与物质的相互作用

1.5 几种常见的扫描电镜和小型台式电镜

1.4 我国研制、生产电镜历程及发展概况

1.3 国外研制和发展电子显微镜的相关进程和成就

1.2 电子显微镜综述

1.1 光学显微镜的发展简史及其几个主要基本概念

第1章 光学显微镜和电子显微镜的发展回顾及其成像方式的比较

上篇 扫描电镜的原理与实用分析技术

符号和术语的说明

前言

内容简介

版权信息

封面

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内容简介

前言

符号和术语的说明

上篇 扫描电镜的原理与实用分析技术

第1章 光学显微镜和电子显微镜的发展回顾及其成像方式的比较

1.1 光学显微镜的发展简史及其几个主要基本概念

1.2 电子显微镜综述

1.3 国外研制和发展电子显微镜的相关进程和成就

1.4 我国研制、生产电镜历程及发展概况

1.5 几种常见的扫描电镜和小型台式电镜

1.6 电子的基本参数及其与物质的相互作用

参考文献

第2章 扫描电镜的原理和结构

2.1 扫描电镜的原理

2.2 电子枪的束斑和束流

2.3 扫描电镜的放大倍率

2.4 扫描电镜的电子束斑

2.5 镜筒

2.6 电子枪阴极

2.7 电磁透镜

2.8 扫描偏转线圈

2.9 样品仓的外形与内部

2.10 真空压力单位

2.11 低真空和环境扫描电镜

参考文献

第3章 扫描电镜的主要探测器及其成像

3.1 二次电子和背散射电子信号的收集与显示

3.2 二次电子探测器

3.3 二次电子像的性质

3.4 传统的E-T型二次电子探测器

3.5 光电倍增管

3.6 YAG材料的二次电子探测器及背散射电子探测器

3.7 透镜内二次电子探测器

3.8 环境扫描和低真空电镜的二次电子探测器

3.9 与图像分辨力有关的几个主要因素

3.10 入射的电子束流与束斑直径

3.11 图像的信噪比和灰度

3.12 试样上电流的进出关系

3.13 吸收电子像（AEI）

3.14 扫描电镜图像的几何分辨力与像素

3.15 图像的立体效应和入射束与试样表面的角度关系

3.16 二次电子的电压衬度像

3.17 试样表面的形貌与图像的反差

3.18 焦点深度（景深）

3.19 物镜光栏的选择

3.20 加速电压效应

3.21 背散射电子的探测方式和图像

3.22 阴极荧光像

3.23 电子束感生电流像

3.24 图像处理功能

3.25 扫描透射电子探测器

3.26 电子束减速着陆方式

参考文献

第4章 扫描电镜的实际操作

4.1 电镜的启动

4.2 试样的安装、更换及停机

4.3 图像的采集

4.4 电镜图像中几种常见的像差

4.5 图像的调焦、消像散和动态聚焦

4.6 屏幕的分割与双放大功能

4.7 电镜图像的不正常现象

4.8 提高图像亮度的几种措施

参考文献

第5章 试样的制备

5.1 超声清洗和镀膜

5.2 粉体试样

5.3 块状试样

5.4 磁性材料

5.5 生物试样

5.6 制样仪器与工具

5.7 制作和粘贴试样的主要工具和器材

第6章 应用图例

6.1 印制电路板的失效分析和检测

6.2 陶瓷电容端头的硫化银

6.3 微观尺寸的测量

6.4 半导体器件的失效分析

6.5 金属断口分析

6.6 继电器触点的表面分析

6.7 锡晶须的生长

6.8 印制电路板上出现的黑镍现象和镍层腐蚀

6.9 金属膜电阻的失效分析

6.10 陶瓷电容的容量漂移

6.11 电真空器件

6.12 微型电机

6.13 蚊子试样

6.14 VC与EBIC像在半导体器件失效分析中的应用

参考文献

第7章 电镜的维护与保养

7.1 衬管的拆卸与清洁

7.2 光栏的清洁

7.3 闪烁体的保养

7.4 显示器的保养和维护

7.5 真空系统的维护

7.6 冷却循环水机的维护

7.7 电镜的控制计算机

7.8 与电镜配套的不间断电源

第8章 电镜的安装环境和对实验室的要求

8.1 安装地点的选择

8.2 空间与地面

8.3 接地

8.4 照明

8.5 室内温度、湿度、通风和排气

8.6 防振和防磁

8.7 供电电源

8.8 供水

8.9 环境噪声

8.10 其他

参考文献

第9章 展望将来的扫描电镜

参考文献

下篇 能谱仪的原理与实用分析技术

第10章 X射线显微分析仪的发展概况及其定义和性质

10.1 国外X射线显微分析仪的发展概况

10.2 国内X射线微区分析仪器的研制简况

10.3 X射线的定义及性质

10.4 X射线的度量单位

参考文献

第11章 能谱仪的工作原理

11.1 锂漂移硅探测器

11.2 锂漂移硅芯片的结构

11.3 硅漂移X射线能谱探测器

11.4 X射线的吸收和处理过程

参考文献

第12章 入射电子与物质的相互作用及X射线的产生

12.1 电子能级的跃迁和X射线的产生

12.2 荧光产额与荧光激发

12.3 连续辐射谱的产生

12.4 莫塞莱定律和X射线定性分析的依据

12.5 X射线的吸收

12.6 二次（荧光）发射

参考文献

第13章 X射线的探测限和假峰

13.1 探测限

13.2 不同密封窗材料的探测范围

13.3 空间几何分辨力

13.4 重叠峰

13.5 假峰

参考文献

第14章 电镜参数的选择

14.1 加速电压的选择

14.2 电子源的亮度

14.3 镜筒的合轴

14.4 探测器与试样的相对几何位置

参考文献

第15章 能谱的定性和定量分析简述

15.1 定性分析简述

15.2 定性分析结果的主要表示方法

15.3 定量分析简述

15.4 扣除背底

15.5 实际操作中的定量分析

15.6 提高定量分析准确度的要点小结

15.7 定量分析的实例

参考文献

第16章 谱线峰的失真与外来的干扰

16.1 谱线峰的失真

16.2 谱线峰偏离高斯分布

16.3 振动与噪声干扰

16.4 独立接地

16.5 杜瓦瓶中的冰晶和底部结冰的处理

16.6 密封窗的污染和破损

16.7 减少探测器中晶体的污染

16.8 背底的失真

16.9 减少高能背散射电子进入探测器

16.10 减少外来的杂散辐射

参考文献

第17章 能谱仪的性能指标

17.1 检出角

17.2 探测的元素范围

17.3 能量分辨力

17.4 峰背比

17.5 谱峰位随计数率和时间的变化而漂移

17.6 液氮消耗量

17.7 X射线的泄漏量

17.8 其他功能

17.9 谱仪的维护与保养小结

参考文献

第18章 X射线波长的探测与波谱仪

18.1 波长衍射

18.2 传统的罗兰圆波谱仪的主要特点

18.3 波谱仪对试样的探测和输出

18.4 能谱仪与罗兰圆波谱仪的比较

18.5 平行光波谱仪

18.6 平行光波谱仪的特点

18.7 能谱仪、波谱仪和EBSD等与扫描电镜的一体化

参考文献

附录A

A.1 压力单位换算表

A.2 真空技术主要术语和含义

A.3 与电镜分析有关的部分常用标准

A.4 可视化重叠峰剥离功能

A.5 入射电子束的加速电压与对应元素的最大激发深度

A.6 由于假峰而可能会引起误判的有关元素谱线表

A.7 能谱、波谱分析中常用的部分标准

A.8 能谱仪用的元素周期表

参考文献

致谢