第4章
扫描电镜的实际操作

4.1　电镜的启动

不同型号的扫描电镜的具体开机步骤不完全相同，但基本的顺序和过程大同小异，常见的扫描电镜开机一般要经过以下几步。

（1）接通电镜的电源总开关，打开氮气的供气阀门，氮气的压力最好调在0.03～0.06Mpa，若带有波谱仪，当使用波谱仪前还应打开P10气体的供气阀门。

（2）接通空气压缩机和冷却循环水机的电源，空压机的压力最好在0.4～0.5Mpa；冷却循环水机的压力应在0.2～0.4Mpa。有些扫描电镜的物镜、高压电源、油扩散泵和大功率或高转速的涡轮分子泵都需要用循环水来冷却；而有的扫描电镜的高压电源和功率较小或转速较低的涡轮分子泵会采用风冷，所以这类风冷的扫描电镜一般就不必配备冷却循环水机。

（3）接通电镜的主开关和真空系统中各抽气泵的电源，现在电镜的生产厂家多数都会把真空系统的这几种泵全都连接到电镜的主开关上，所以一般只需要接通电镜的主开关电源即可。

（4）启动控制计算机的运行程序。现在，绝大多数电镜的启动过程和步骤都是按照事先编好的程序，由控制计算机自动运行的，若是这样，人们则只要接通总开关，输入正确的密码，按下回车键，就能启动运行控制计算机，剩下就是等待运行程序的提示词汇或观察运行的指示灯。有的电镜会在荧屏上显示出“Pumping”“Waiting”“Ready”“OK”等指示性的词汇，而有的则用红、黄和绿等不同颜色的发光二极管来表示，具体指示情况依电镜型号的不同而异。